| Περίληψη |
Το αντικείμενο που πραγματεύεται η παρούσα εργασία, η οποία γίνεται στα πλαίσια του Μεταπτυχιακού Προγράμματος Μικροηλεκτρονικής-Οπτοηλεκτρονικής του Φυσικού Τμήματος του Πανεπιστημίου Κρήτης, είναι η μελέτη των ιδιοτήτων του οξειδίου του Ινδίου (InOx)-και δη η ευαισθησία που παρουσιάζει στο όζον σε θερμοκρασία περιβάλλοντος-συναρτήσει των παραμέτρων παρασκευής του. Ειδικότερα, υμένια οξειδίου του Ινδίου, πάχους 100 nm, εναποτέθηκαν πάνω σε γυαλί Corning 7059 με την τεχνική dc magnetron sputtering, χρησιμοποιώντας διαφορετικούς ρυθμούς εναπόθεσης και διαφορετικό ποσοστό Οξυγόνου στο αέριο μίγμα Ο2-Ar του πλάσματος. Αρχικά, στα υμένια έγινε δομική μελέτη με την τεχνική περίθλασης ακτίνων-Χ (XRD), επιφανειακή μελέτη με ατομική μικροσκοπία δυνάμεως (AFM) καθώς και μελέτη της διαπερατότητάς τους με φασματοσκοπία υπεριώδους/ορατού (UV/VIS Spectroscopy). Από τα αποτελέσματα προέκυψε ότι το μέγεθος του κρυσταλλίτη και το οπτικό ενεργειακό χάσμα αυξάνουν καθώς ο ρυθμός εναπόθεσης μειώνεται, ενώ η πλεγματική σταθερά αυξάνει με τον ρυθμό εναπόθεσης. Περαιτέρω μελέτη των παραπάνω υμενίων όσον αφορά την ευαισθησία που παρουσιάζουν στο όζον, έδειξε ιδιαιτέρως ενδιαφέροντα αποτελέσματα. Ειδικότερα, η αγωγιμότητα υμενίων, τα οποία προηγουμένως είχαν φωτιστεί με υπεριώδη ακτινοβολία, μειώθηκε έως και 7 τάξεις μεγέθους κατά την έκθεσή τους σε περιβάλλον όζοντος. Η ευαισθησία αυτή στο όζον αυξάνεται τόσο με την μείωση του ρυθμού εναπόθεσης, όσο και με την αύξηση του ποσοστού Οξυγόνου στο πλάσμα, ενώ εξίσου σημαντικό είναι το γεγονός ότι παρατηρείται σε θερμοκρασία περιβάλλοντος, κάτι που κάνει το InOx να ξεχωρίζει μεταξύ των άλλων ανιχνευτών όζοντος, οι οποίοι λειτουργούν συνήθως σε υψηλές θερμοκρασίες (άνω των 200 οC). Τέλος, τα αποτελέσματα αυτά οδήγησαν σε δύο δημοσιεύσεις: 1. "The influence of deposition parameters on room temperatures ozone sensing properties of InOx films", υποβλήθηκε στο περιοδικό Sensors and Actuators B, Απρίλιος 2001 2. "Ozone sensing properties of polycrystalline Indium oxide films at room temperature", phys. stat. sol. (a) 185, No. 1, 27-32 (2001)
|
Το οξείδιο του ινδίου ως αισθητήρας ανίχνευσης όζοντος σε θερμοκρασία δωματίου
