|
Κωδικός Πόρου |
uch.physics.phd//1999xirouchaki |
Τίτλος |
Growth and characterization of indium oxide(InOx) films |
Άλλος τίτλος |
Εναπόθεση και χαρακτηρισμός υμενίων οξειδίου του Ινδίου (ΙnΟx) |
Συγγραφέας
|
Ξηρουχάκη - Pedersen Χρυσούλα
|
Σύμβουλος διατριβής
|
Κυριακίδης, Γ.
|
Περίληψη |
Μικροκρυσταλλικά υμένια οξειδίου του ινδίου με πάχος 100-1600nm παρασκευάστηκαν με την τεχνική του dc magnetron sputtering σε ατμόσφαιρα πλάσματος αργού-οξυγόνου σε θερμοκρασία δωματίου. Δείξαμε ότι η αγωγιμότητα των υμενίων αυτών μπορεί να μεταβληθεί κατά 6 τάξεις μεγέθους με έκθεση των υμενίων σε υπεριώδη ακτινοβολία υπό συνθήκες κενού και ακόλουθη οξείδωσή τους υπό συνθήκες όζοντος. Με οπτικές μετρήσεις διάδοσης και απορρόφησης φωτός βρέθηκε ότι τα υμένια παρουσιάζουν υψηλή διαφάνεια (της τάξεως του 90%) στην περιοχή ορατού φωτός και έχουν ευθύ οπτικό χάσμα με τιμή 3.7eV. Η μέθοδος της σπεκτροσκοπίας Anger ηλεκτρονίων εφαρμόσθηκε για τη μελέτη της χημικής σύστασης των υμενίων και βρέθηκε ότι το υμένιο είναι ομοιόμορφο σε όλο το πάχος του υλικού, ανεξάρτητα από το πάχος τους. Ποσοτική Anger ανάλυση και ανάλυση ενεργειακής κατανομής ακτίνων-χ πραγματοποιήθηκε για τον καθορισμό της στοιχειομετρίας των υμενίων. Ελλειψη οξυγόνου κατά 2-5% παρατηρήθηκε στα υμένια αυτά σε σχέση με την στοιχειομετρική χημική σύσταση του υλικού.
|
Γλώσσα |
Αγγλικά |
Ημερομηνία έκδοσης |
1999-01-01 |
Ημερομηνία διάθεσης |
1999-10-01 |
Συλλογή
|
Σχολή/Τμήμα--Σχολή Θετικών και Τεχνολογικών Επιστημών--Τμήμα Φυσικής--Διδακτορικές διατριβές
|
|
Τύπος Εργασίας--Διδακτορικές διατριβές
|
Εμφανίσεις |
573 |