| Περίληψη |
Στην παρούσα εργασία σκοπός είναι η μελέτη και η βελτιστοποίηση της ευαισθησίας στις
μεταβολές θερμοκρασιών, διατάξεων που αποτελούνται από ανθρακικούς νανοσωλήνες (Carbon
nanotubes, CNTs). Αρχικά μελετήσαμε τις ωμικές επαφές μετάλλου-CNTs (σε αυτό το στάδιο τα
CNTs που χρησιμοποιήθηκαν ήταν ημιαγώγιμα). Κατασκευάστηκαν δείγματα με διαφορετικά είδη
λιθογραφίας ( φωτολιθογραφία και λιθογραφία με δέσμη ηλεκτρονίων) στα οποία εφαρμόστηκαν
τεχνικές καθαρισμού προκειμένου να απομακρυνθούν ρύποι από την επιφάνεια των CNTs.
Mελετήθηκε η επίδραση της εφαρμογής πλάσματος οξυγόνου πριν την εναπόθεση του μετάλλου
καθώς επίσης και η επίδραση της θερμικής ανόπτησης υπο συνθήκες ατμόσφαιρας
αργού/υδρογόνου (Ar/H2) σε θερμοκρασίες 100οC, 200οC, 300οC, 400οC και 500οC, μετά την
ολοκλήρωση της κατασκευής των δειγμάτων. Τα μεγέθη που εξάγαμε από τον ηλεκτρικό
χαρακτηρισμό ήταν η αντίσταση επαφής και η επιφανειακή αντίσταση των CNTs. Έπειτα από την
ολοκλήρωση της διερεύνησης της καλύτερης μεθόδου κατασκευής και τεχνικής καθαρισμού των
δειγμάτων χρησιμοποιήθηκαν τα αποτελέσματα για την δημιουργία νέων δειγμάτων. Τα δείγματα
διέφεραν μεταξύ τους ως προς το είδος CNTs που διέθεταν. Σε αυτό το στάδιο κατασκευάστηκαν
δείγματα με μεταλλικά CNTs καθώς επίσης και δείγματα με ημιαγώγιμα CNTs. Έπειτα ακολούθησε
ηλεκτρικός χαρακτηρισμός των δειγμάτων σε θερμοκρασίες 15οC – 55οC και μετά τα δείγματα
ανοπτήθηκαν στην βέλτιστη θερμοκρασία που προέκυψε από το προηγούμενο στάδιο. Μετά την
θερμική ανόπτηση στην επιθυμητή θερμοκρασία έγινε πάλι ηλεκτρικός χαρακτηρισμός και των δυο
δειγμάτων σε θερμοκρασίες 15οC – 55οC. Τέλος προκειμένου να προσδιοριστεί η ευαισθησία των
CNTs στις θερμοκρασιακές μεταβολές κατασκευάστηκαν διαγράμματα ΔR/R0-Τ για πριν και μετά
την ανόπτηση. Με αυτόν τον τρόπο μαζί με τον προσδιορισμό της ευαισθησίας σε θερμοκρασιακές
μεταβολές ελέγχθηκε και η αποδοτικότητα των τεχνικών καθαρισμού που ακολουθήθηκαν.
|
Μελέτη επαφών και θερμικής συμπεριφοράς νανονημάτων άνθρακα
